Investigación de tecnología limpia y los tipos de investigación de tecnología limpia de alta pureza y los tipos de medio de alta pureza utilizando el proceso de producción ambiental limpia y en el proceso de producción, controlar eficazmente las impurezas trazas, para garantizar que la tasa de producto terminado y la fiabilidad de los productos de alta tecnología. La tecnología limpia generalmente incluye: tecnología de purificación de aire, aire acondicionado, purificación de agua, tecnología de purificación de gas, tecnología de control de impurezas traza, tecnología de monitoreo de medio ambiente limpio y tecnología relacionada de control de calidad ambiental. La tecnología de ingeniería de purificación ha sido ampliamente utilizada en la electrónica, aeroespacial, nuclear, ingeniería biológica, farmacéutica, maquinaria de precisión, química, alimentos, fabricación de automóviles y otra industria de alta tecnología y ciencia moderna. Para los equipos semiconductores, la tecnología de ingeniería de purificación juega un papel muy importante en microelectrónica. El núcleo de la tecnología de microelectrónica es el circuito integrado, circuito integrado de producción presentar estrictos requisitos sobre la tecnología y purificación de equipos y el flujo de proceso del proceso en el medio ambiente. Los "nueve cinco" de China Durante el desarrollo de la microelectrónica como foco de la industria de la información. El nivel de tecnología de ingeniería de purificación ya se ha convertido en un símbolo importante para medir el nivel científico y tecnológico de un país y región y el nivel industrial en algún sentido.